文献类型：期刊文章

作　　者：潘建秋[1,2] 甘志银[1,2] 植成杨[1,2]

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074 [2]广东昭信半导体装备制造有限公司,广东佛山528251

出　　处：《科技传播》

基　　金：973项目"高性能LED制造与装备中的关键基础问题研究"子课题"MOCVD新型反应腔设计;LED缺陷抑制和量子效率调控"(项目编号:2011CB013103)

年　　份：2013

卷　　号：5

期　　号：2

起止页码：108-110

语　　种：中文

收录情况：NSSD、普通刊

摘　　要：蓝宝石片高温翘曲且半透明,本文利用Comsol Multiphysics流体与传热模块耦合的有限元方法对本公司和另一常见MOCVD反应腔体和加热器进行高温环境的稳态建模,考虑了翘曲导致的导热不均匀以及耦合了参与介质的辐射。研究了蓝宝石片表面的温度稳态情况,评估了不同腔体和加热器结构温度均匀性在±1K以内的均温效果。

关 键 词：MOCVD 有限元模拟 蓝宝石衬底 温度均匀性

分 类 号：TN304.055]