文献类型：期刊文章

作　　者：朱海科[1,2] 甘志银[1,2] 刘宇峰[1,2]

机构地区：[1]华中科技大学机械制造及自动化系,湖北武汉430074 [2]广东昭信半导体装备制造有限公司,广东佛山528251

出　　处：《机电工程》

年　　份：2011

卷　　号：28

期　　号：2

起止页码：180-183

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商用软件对不同规格的O形圈及相应的燕尾槽建立了模型,并进行了分析和计算,最后得到了具有较高工程指导价值的结论。研究结果表明,在O形圈密封中,当密封槽采用燕尾槽时,O形圈的压缩率取20%左右,真空腔体的密封性能良好。

关 键 词：O形圈密封  燕尾槽 有限元 拉伸率  压缩率

分 类 号：TH136] TH123.4