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MOCVD石墨盘热可靠性分析
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074 [2]广东昭信半导体装备制造有限公司,广东佛山528251
年 份：2012
卷 号：4
期 号：3
起止页码：85-87
语 种：中文
收录情况：NSSD、普通刊
摘 要：本文概括了MOCVD设备中石墨盘的失效形式以及相应的危害。运用流体,热场和应力场耦合的有限元方法对MOCVD腔体进行模拟,重点模拟石墨盘在正常工作、加热器三区各自分别失效以及升温过程中的热应力,并分析石墨盘的失效原因。结合石墨盘破损案例和模拟结果,提出一种热稳定性更好的石墨盘结果,并分析了新石墨盘结构的主要参数对石墨盘热可靠性的影响。
关 键 词：MOCVD 热应力 有限元模拟 失效
分 类 号：TQ127.1]
参考文献：
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