文献类型：专利

专利类型：发明专利

是否失效：否

是否授权：否

申 请 号：CN200910049171.2

申 请 日：20090410

发 明 人：甘志银 胡少林 王亮 陈倩翌 刘胜

申 请 人：广东昭信半导体装备制造有限公司

申请人地址：528251 广东省佛山市南海区平洲沙尾工业西区南港大街C栋一楼厂房

公 开 日：20120606

公 开 号：CN101857952B

代 理 人：汤喜友

代理机构：44288 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)

语　　种：中文

摘　　要：一种气相沉积设备反应腔的加热系统，包括气体A、气体B进气管道、缓冲腔、喷淋口、反应室、基座、石墨舟、加热器、排气管道，其特征在于所述加热器内的加热片位于加热片支撑盘上，其一端分别经地线电极连接柱、地线盘、地线导电支撑柱、夹具、地线电极盘与地线引出电极连接，另一端分别经火线电极连接柱、火线盘、火线导电支撑柱、夹具、火线电极盘、火线引出电极连接，加热片支撑盘、地线盘、火线盘、导电支撑柱经夹具夹持固定，隔热盘位于火线盘的下方，隔热盘的层间经连接支撑柱固定连接。本发明的优点是采用可以调节高度的多区辐射方式加热，实现快速升降温、均匀加热及温度调节，有效提高沉积物质的均匀性，从而提高了外延沉积的质量。

主 权 项：1.一种气相沉积设备反应腔的加热系统，气相沉积设备反应腔由设置于加热器系统顶部的气体A进气管道(14)，反应气体B进气管道(15)，设置于反应气体B进气管道(15)末端的缓冲腔(18)及喷淋口(17)、设置于喷淋口(17)下的反应室(21)、以及基座(20)、石墨舟(19)、加热器(31)、反应废气排出管道(23)组成，其特征在于所述加热器(31)位于基座(20)内、加热器(31)的加热片(7a、7b、7c)位于加热片支撑盘(30)之上，加热片支撑盘(30)位于基座顶部内侧下方，电极盘(22)设置为地线电极盘(22a)、内圈火线电极盘(22b)、中圈火线电极盘(22c)、外圈火线电极盘(22d)四个区域，加热片(7a、7b、7c)的一端分别经地线电极连接柱(8a、8b、8c)、地线盘(6a、6b、6c)、地线导电支撑柱(2a、2b、2c)、夹具(11)、地线电极盘(22a)与地线引出电极(25)连接，加热片(7a、7b、7c)的另一端分别经过火线电极连接柱(9a、9b、9c)、火线盘(5a、5b、5c)、火线导电支撑柱(1a、1b、1c)、夹具(11)、火线电极盘(22b、22c、22d)与火线引出电极(26、28、29)连接，支撑盘(30)、火线盘(5a、5b、5c)、地线盘(6a、6b、6c)之间经连接支撑柱(12)固定连接，导电支撑柱(1a、1b、1c、2a、2b、2c)经夹具(11)上的锁紧螺母(10)夹持固定，隔热盘(3a、3b、3c)位于火线盘(5a、5b、5c)的下方，隔热盘的层间经连接支撑柱(4)固定连接。

关 键 词：火线 支撑柱  地线 夹具  加热片  连接  导电  加热器  地线电极  火线电极  支撑盘  电极 隔热 沉积设备  沉积物质  调节高度  辐射方式  加热系统  均匀加热  排气管道  外延沉积  温度调节 反应腔  反应室  均匀性  石墨舟  缓冲  夹持  进气  喷淋  固定  

IPC专利分类号：C23C16/48(20060101);C23C16/18(20060101)