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江苏省薄膜材料重点实验室 收藏

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研究主题:光子晶体    磁控溅射    ZNO薄膜    光学带隙    AZO    

研究学科:电子信息类    机械类    电气类    

被引量:27H指数:3WOS: 5 EI: 11 北大核心: 11 CSCD: 10

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24 条 记 录,以下是 1-10

沉积气压对磁控溅射制备ZnO薄膜的结构与光学性能影响 ( EI收录)
1
《功能材料》苏州大学物理科学与技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学分析测试中心 蒋平 吴雪梅 诸葛兰剑 吴兆丰  出版年:2009
国家自然科学基金资助项目(10275047;10575073);江苏省高校自然科学基金资助项目(03KJB140116)
采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了ZnO薄膜,分别用XRD、SEM、紫外-可见光分光光度计和荧光分光光度计表征样品的结构和光学性质。实验表明,采用射频磁控溅射制备的ZnO薄膜具有六角...
关键词:射频磁控溅射 ZNO薄膜 透射率 光学带隙 PL谱
抑制二次电子发射方法的研究 ( EI收录)
2
《材料导报》苏州大学物理科学与技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学分析测试中心;哈尔滨工业大学空间环境与物质科学研究院 金雪莲 吴雪梅 诸葛兰剑 金成刚  出版年:2021
国家自然科学基金(11505123,11435009)。
电介质和金属表面被激发出来的二次电子(Secondary electron emission,SEE)可以显著地改变该表面附近的电势分布和通量。在一些情况下,如电子束焊机、扫描电子显微镜、透射式电子显微镜、电子衍射仪、俄...
关键词:二次电子发射 表面构造  表面镀膜 离子束轰击  
Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响
3
《微细加工技术》苏州大学物理科学与技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学分析测试中心 徐庆岩 吴雪梅 诸葛兰剑 陈学梅 吴兆丰  出版年:2008
国家自然科学基金资助项目(10575073);江苏省高校自然科学基金资助项目(03KJB140116)
采用射频磁控溅射方法在导电玻璃和石英衬底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂量的ZnO薄膜。XRD显示,适当的Cu掺杂增强了ZnO的(002)衍射峰的强度;用紫外分光光度计测量了样品的透光性,结果显示,随掺杂量的增加,其透光性减...
关键词:CU掺杂 ZNO薄膜 电光学性质  
绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展
4
《微纳电子技术》苏州大学物理系;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学分析测试中心 何晶晶 吴雪梅 诸葛兰剑 葛水兵  出版年:2010
国家自然科学基金(10575073);苏州市科技计划项目(SYJG0901)
绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极。概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜...
关键词:绒面掺铝氧化锌  透明导电薄膜 磁控溅射 湿法刻蚀 太阳电池
厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响
5
《苏州大学学报(自然科学版)》苏州大学文正学院;苏州大学物理科学与技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学分析测试中心 王岩岩 吴明智 俞友明 王飞 吴雪梅 诸葛兰剑  出版年:2012
国家自然科学基金(10575073);苏州市科技计划项目(SYJG0901);苏州大学2010年国家级大学生创新性实验计划项目(5731500910);青蓝工程
室温下,采用射频磁控溅射法在单晶硅及石英片上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜,所用靶材为掺杂Al2 O3的ZnO多晶烧结靶,其中Al2 O3所占质量百分数为2%,分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、霍尔效应测试系统和紫外可...
关键词:AZO 磁控溅射 膜厚
一种基于束缚态的可调等离子体光子晶体窄带滤波器 ( EI收录)
6
《物理学报》苏州大学物理科学与技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学光电科学与工程学院;苏州大学分析测试中心 周铭杰 谭海云 周岩 诸葛兰剑 吴雪梅  出版年:2021
国家自然科学基金(批准号:11975163);江苏省高等院校优秀学科建设工程(PAPD)资助的课题.
利用一维光子晶体和二维等离子体光子晶体构建了一种基于束缚态的可调窄带滤波器,滤波器的工作频率位于两个光子晶体的共同禁带内.使用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件研究了一维光子晶体的几何参数和等离子体参数...
关键词:等离子体 光子晶体 可调滤波器 束缚态
基片下磁场对溅射薄膜宏观形貌的影响 ( EI收录)
7
《材料导报》苏州大学物理系;江苏省薄膜材料重点实验室 储开慧 狄国庆  出版年:2005
通过屏蔽传统磁控溅射设备阴极内的磁场和在基片下放置永磁铁,使来自基片下的磁场发挥作用,研究了此外加磁场在溅射过程中对薄膜沉积所产生的影响。用这种方法沉积出的Cu、Al的薄膜的宏观形貌为:膜的中央有一圆斑,在圆斑的外围有环...
关键词:磁控溅射 膜厚 梯度磁场
使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜
8
《苏州大学学报(自然科学版)》苏州大学物理与科学技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室 孙刚 辛煜 卢春山  出版年:2008
国家自然科学基金资助项目(10305008)
提出了一种基于13.56MHz激发的微感应耦合等离子体射流源,含碳的等离子体射流在绕有水冷线圈的石英管中产生.激光拉曼光谱及紫外-可见光谱分别用以研究基片负偏压对所生长的非晶碳膜结构特征的影响.结果表明:碳基微等离子体射...
关键词:微感应耦合等离子体射流源  类金刚石薄膜 RAMAN光谱 光学带隙
基于静电相互作用模型的光子晶体拓扑相变 ( EI收录)
9
《光学学报》苏州大学物理科学与技术学院;苏州纳米科技协同创新中心;苏州大学高等研究院;江苏省薄膜材料重点实验室 陈家禾 李燕方 杭志宏  出版年:2022
国家自然科学基金(11874274,12274315)。
对于由完美电导体圆柱构成的蜂窝晶格光子晶体,类比静电相互作用,提出一种可计算晶格内与晶格间耦合强度的数学模型,通过对比晶格内耦合和晶格间耦合,在结构层面解释了量子自旋霍尔效应。计算结果表明,随着圆柱半径的增加,晶格内与晶...
关键词:物理光学 光子晶体 拓扑相变  静电相互作用 拓扑绝缘体
CCP/ICP混合放电C_4F_8/Ar等离子体高、低频功率对AZO薄膜绒面效果的影响 ( EI收录)
10
《功能材料》苏州大学物理科学与技术学院;江苏省薄膜材料重点实验室;苏州大学分析测试中心 吴明智 金成刚 王飞 黄天源 吴雪梅 诸葛兰剑  出版年:2013
国家自然科学基金资助项目(10575073);苏州市科技计划资助项目(SYJG0901);苏州大学2010年国家级大学生创新性实验计划资助项目(5731500910)
室温下,采用射频磁控溅射方法在石英基片上制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜。利用CCP/ICP混合放电C4F8/Ar等离子体对制得的AZO薄膜进行绒面处理。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征,利用光纤光谱...
关键词:AZO CCP  ICP 绒面结构  发射光谱
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