文献类型：期刊文章

作　　者：吴明智[1,2] 金成刚[1,2] 王飞[1,2] 黄天源[1,2] 吴雪梅[1,2] 诸葛兰剑[1,3]

机构地区：[1]苏州大学物理科学与技术学院,江苏苏州215006 [2]江苏省薄膜材料重点实验室,江苏苏州215006 [3]苏州大学分析测试中心,江苏苏州215006

出　　处：《功能材料》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10575073);苏州市科技计划资助项目(SYJG0901);苏州大学2010年国家级大学生创新性实验计划资助项目(5731500910)

年　　份：2013

卷　　号：44

期　　号：5

起止页码：744-747

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20131716238590)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：室温下,采用射频磁控溅射方法在石英基片上制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜。利用CCP/ICP混合放电C4F8/Ar等离子体对制得的AZO薄膜进行绒面处理。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征,利用光纤光谱仪分析放电产生的碳氟基团含量的变化。实验结果发现低频功率的增大能够有效增加等离子体中F原子的含量,进而提高薄膜的刻蚀效果,获得较好的绒面结构;但是高频功率变化对薄膜刻蚀效果影响较小。

关 键 词：AZO CCP  ICP 绒面结构  发射光谱

分 类 号：O53]