文献类型：期刊文章

作　　者：何晶晶[1,2] 吴雪梅[1,2] 诸葛兰剑[3,2] 葛水兵[1,2]

机构地区：[1]苏州大学物理系 [2]江苏省薄膜材料重点实验室,江苏苏州215006 [3]苏州大学分析测试中心

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：国家自然科学基金(10575073);苏州市科技计划项目(SYJG0901)

年　　份：2010

卷　　号：47

期　　号：5

起止页码：290-296

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极。概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜后再进行湿法刻蚀制绒面方法,制备的样品呈现"坑状"或"类月球地貌"的绒面,并讨论了工艺对薄膜结构、光电性能和刻蚀行为的影响,最后介绍了绒面AZO薄膜在硅薄膜太阳电池中的应用,进一步降低生产成本和实现大规模产业化生产是绒面AZO薄膜的发展趋势。

关 键 词：绒面掺铝氧化锌  透明导电薄膜 磁控溅射 湿法刻蚀 太阳电池

分 类 号：TN304.055] TN304.21