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湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 收藏

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研究主题:化学气相沉积    金刚石薄膜    纳米碳管    单晶金刚石    类金刚石薄膜    

研究学科:电子信息类    电气类    

被引量:57H指数:4WOS: 1 EI: 2 北大核心: 6 CSCD: 5

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29 条 记 录,以下是 1-10

CVD金刚石薄膜半导体材料的研究进展
1
《真空与低温》武汉工程大学材料学院;湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 孙蕾 满卫东 汪建华 谢鹏 熊礼威 李远  出版年:2008
湖北省教育厅Q20081505项目的资助;武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室开放基金RGCT200801的资助。
含Ⅲ族与Ⅴ族元素掺杂的金刚石是宽禁带的半导体材料,同时具有优异的物理和化学特性,在电子器件与光电子器件方面的应用具有极大潜力,成为近几年来国内外研究的热点之一。介绍了目前常用的掺杂方法、技术水平及金刚石半导体的应用前景。
关键词:金刚石薄膜 掺杂 半导体 N型 P型
射频等离子体制备类金刚石薄膜及其表征
2
《武汉工程大学学报》武汉工程大学材料学院;湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 谢鹏 汪建华 王传新 王升高 满卫东 熊礼威  出版年:2009
国家自然科学基金(50572075);湖北省教育厅2004年创新团队项目;湖北省教育厅Q20081505项目
采用射频等离子体技术,以CH4和H2为反应气体,在单晶硅片和载玻玻璃片上成功制备出了高质量的类金刚石薄膜.采用扫描电镜、原子力显微镜、Raman光谱、红外光谱、显微硬度计表征了类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、光学性能和...
关键词:射频等离子体 类金刚石薄膜 粗糙度 拉曼光谱 显微硬度
MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜
3
《辽宁石油化工大学学报》湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 熊礼威 汪建华 满卫东  出版年:2006
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目
采用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲烷混合气体,在抛光石英基片上低温沉积出金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪(Raman)和傅立叶红外光谱仪(FTIR)对薄膜的表面形貌、...
关键词:化学气相沉积 金刚石薄膜 石英玻璃 微波
硼源浓度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响 ( EI收录)
4
《表面技术》武汉工程大学材料科学与工程学院;湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 熊礼威 崔晓慧 汪建华 龚国华 邹伟  出版年:2014
国家自然科学基金项目(11175137);湖北省教育厅科学技术研究项目(Q20121501);武汉工程大学科学研究基金(11111051)~~
目的研究纳米金刚石薄膜生长掺硼的内在机理,实现对该过程的精确控制。方法采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼源,进行纳米金刚石薄膜的生长过程掺硼实验,研究硼源浓度对掺硼纳米金刚石薄膜晶粒尺寸、表面粗糙度、...
关键词:纳米金刚石薄膜 掺硼 硼源浓度  化学气相沉积
纳米白炭黑增强丁苯橡胶材料的制备与表征
5
《武汉工程大学学报》中国石油天然气股份有限公司兰州化工研究中心合成橡胶所;湖北省等离子体化学与新材料重点实验室(武汉工程大学) 郑聚成 向腾瑞 林志东  出版年:2014
采用正硅酸四乙酯为二氧化硅前驱体,纳米二氧化硅前驱体反相微乳液与溶聚丁苯橡胶原胶溶液共混原位反应生成纳米二氧化硅,使二氧化硅微粒均匀分散在溶聚丁苯橡胶原胶液中,形成二氧化硅纳米级分散的溶聚丁苯橡胶溶液,最后经过汽提干燥工...
关键词:反相微乳法  纳米二氧化硅 丁苯橡胶 复合材料
甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响
6
《应用化工》湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 曹菊琴 汪建华 满卫东 熊礼威 卫应亮  出版年:2006
湖北省科技攻关计划项目(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目
以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法(MPECVD)在1 cm×1 cm S i(100)基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响。分别采用扫描电子...
关键词:微波等离子体辅助化学气相沉积  金刚石薄膜 (100)织构  
温度对MPCVD法同质外延单晶金刚石缺陷的影响
7
《金刚石与磨料磨具工程》武汉工程大学材料科学与工程学院;湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 丁康俊 马志斌 宋修曦 夏禹豪 耿传文  出版年:2018
国家自然科学基金(No.11575134)
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在含有缺陷的单晶金刚石种晶上进行同质外延生长实验,在其他沉积参数保持相同的情况下,研究温度对生长的单晶金刚石缺陷的影响。通过发射光谱、拉曼光谱以及SEM对单晶金刚石进行表征。实...
关键词:微波等离子体化学气相沉积 发射光谱 单晶金刚石 缺陷  
水热法制备氧化钇空心纳米花及其吸附性能
8
《无机化学学报》湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;武汉工程大学材料科学与工程学院 江学良 张姣 余露 游峰  出版年:2016
国家自然科学基金(No.51273154)资助项目
采用水热法制备单分散、粒径均一的碱式碳酸钇(Y(OH)CO3)前驱体,经过高温煅烧处理得到氧化钇(Y_2O_3)空心纳米花。通过傅里叶转换红外分析(FT-IR),场发射扫描电子显微镜(FESEM),透射电子显微镜(TEM...
关键词:氧化钇 空心纳米花  水热法 吸附  
介质阻挡放电结合二氧化锰对空气中苯的降解
9
《武汉工程大学学报》湖北省等离子体化学与新材料重点实验室(武汉工程大学) 王升高 刘翔 孔垂雄 李鹏飞 杜祖荣 皮晓强  出版年:2014
国家自然科学基金(51272187);湖北省自然基金创新群体(2013CFA012);湖北省高等学校优秀中青年团队项目(T201004)
为了提高介质阻挡放电技术对空气中苯的降解效率、降低尾气中的残余的臭氧含量,采用水热法制备了二氧化锰催化剂,并结合等离子体对模拟空气中的苯进行了降解研究.通过气相色谱仪测定尾气中苯、二氧化碳和一氧化碳的含量,利用碘量滴定法...
关键词:二氧化碳选择比  催化  降解率 臭氧含量  
微波功率对(100)晶面取向金刚石薄膜制备的影响
10
《硬质合金》湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 陈辉 汪建华 翁俊 孙祁  出版年:2013
国家自然科学基金(11175137/A050610)光学级金刚石薄膜沉积过程晶面取向与缺陷控制机理研究
以H2和CH4的混合气体为气源,使用实验室自制10 kW新型装置,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在Si(100)基体上沉积金刚石薄膜,然后采用扫描电镜(SEM)、Raman光谱以及XRD光谱,以得到表面形貌...
关键词:微波等离子体 化学气相沉积 金刚石薄膜 微波功率
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