文献类型：期刊文章

作　　者：曹菊琴[1] 汪建华[1] 满卫东[1] 熊礼威[1] 卫应亮[1]

机构地区：[1]湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430073

出　　处：《应用化工》

基　　金：湖北省科技攻关计划项目(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目

年　　份：2006

卷　　号：35

期　　号：10

起止页码：745-746

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法(MPECVD)在1 cm×1 cm S i(100)基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜(SEM),Ram an光谱对金刚石膜的表面形貌、质量进行了分析。结果表明,当基体温度为750℃,气压为4.8×103Pa,甲烷浓度为1.4%时,薄膜表面为(100)织构。

关 键 词：微波等离子体辅助化学气相沉积  金刚石薄膜 (100)织构  

分 类 号：TB43]