文献类型：期刊文章

作　　者：熊礼威[1] 汪建华[1] 满卫东[1]

机构地区：[1]湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430074

出　　处：《辽宁石油化工大学学报》

基　　金：湖北省科技攻关计划(2002AA105A02);湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目

年　　份：2006

卷　　号：26

期　　号：4

起止页码：47-50

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、JST、RCCSE、普通刊

摘　　要：采用微波等离子体增强化学气相沉积方法（MPECVD），利用氢气和甲烷混合气体，在抛光石英基片上低温沉积出金刚石薄膜。用扫描电子显微镜（SEM）、激光拉曼光谱仪（Raman）和傅立叶红外光谱仪（FTIR）对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸、纯度和光学透过性能进行了表征．．通过SEM发现，得到的金刚石薄膜的颗粒尺寸为0．2～0．3μm，形核密度超过10^9cm^-2，从薄膜形貌可以发现，较高温度有于提高薄膜的生长速率和颗粒尺寸的均匀性。通过拉曼光谱和红外透射光谱分析发现，较高温度下沉积的薄膜具有较高的金刚石相含量，薄膜的光学透过性能也相对较好。

关 键 词：化学气相沉积 金刚石薄膜 石英玻璃 微波

分 类 号：O484.41]