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东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所 收藏

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研究主题:真空    干泵    集成化    模块化    表面改性    

研究学科:电子信息类    自动化类    机械类    航空航天类    能源动力类    

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21 条 记 录,以下是 1-10

EB-PVD制备YSZ涂层的热震性研究
1
《真空》东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所 李国浩 巴德纯 王栋 陈红斌 张洪琦 杜广煜  出版年:2020
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(N180313007)。
用电子束蒸发镀膜的技术制备一系列不同微观结构的YSZ涂层,通过对涂层进行热震实验,测试50次热循环,通过SEM、XRD对涂层样品微观结构进行表征。通过实验和表征结果发现制备束流在350mA的情况下YSZ涂层样品的热震性能...
关键词:电子束物理气相沉积 热障涂层 热震性能 失效研究  
基于ANSYS软件的蝶阀结构分析
2
第十三届国际真空科学与工程应用学术会议 2017马天伟 朱志鹏 秦彬玮 岳向吉  出版年:2017
真空阀门是真空系统中用于开关气路、调解气流量大小的重要元件。蝶阀主要由阀体、阀板、阀杆和密封圈等组成,用于压力控制的蝶阀,其阀体与阀板之间的间隙是设计、制造和装配的关键。本文建立了在螺栓预紧力与外部加热带为105℃和13...
关键词:真空阀门 蝶阀 有限元分析 间隙  
面向应用的真空干泵模块化与集成化发展趋势
3
珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会 2016刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉  出版年:2016
在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下,半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备,已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例,干泵作为前道序生产线...
关键词:真空干泵  发展趋势  面向应用  模块化 集成化
多口复合分子泵抽气口位置对抽气性能影响的研究
4
第十三届国际真空科学与工程应用学术会议 2017侯德峰 王晓冬 巴德纯 马兆俊 张鹏飞  出版年:2017
复合分子泵作为获得清洁高真空环境的重要设备,应用领域不断扩大,其结构形式也越来越多样化,例如多口复合分子泵的开发,为逆流氦质谱检漏技术提供了更好的支持,能够很好地解决逆流检漏时因返流量过小而导致灵敏度降低的问题。基于此,...
关键词:多口复合分子泵  逆流检漏  计算程序 结构设计  抽气性能
面向应用的真空干泵模块化与集成化发展趋势
5
珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会 2016刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉  出版年:2016
在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下,半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备,已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例,干泵作为前道序生产线...
关键词:真空干泵  发展趋势  面向应用  模块化 集成化
多弧离子镀膜机弧源温度场的模拟研究
6
第十三届国际真空科学与工程应用学术会议 2017张迪 岳向吉  出版年:2017
弧源是多弧离子镀膜机的重要结构之一,在实际的工业生产过程中,所制备涂层表面颗粒大是始终困扰技术进步的难题。其根本原因是弧斑过于集中造成靶材过热,形成熔池产生溶液飞溅。本文通过对弧源内部温度场的模拟研究,利用ANSYS等模...
关键词:弧源  大颗粒 冷却  
涡旋干式真空泵内气体流动的数值模拟研究
7
中国真空学会2016学术年会 2016张英莉 李阳 车书刚 巴德纯 岳向吉  出版年:2016
涡旋干式真空泵具有洁净无油、体积小、工作压力范围宽、振动小、噪声小等优点,被广泛应用于半导体制造、生物制药等需求清洁真空的行业。本文基于 CFD 方法和动网格技 术建立了涡旋干式真空泵内瞬态流动的仿真模型,并对粘滞流态下...
关键词:干式涡旋真空泵  计算流体力学(CFD)  动网格 数值模拟  
真空干泵模块化、集成化与智能化发展趋势
8
第十三届国际真空科学与工程应用学术会议 2017刘坤 段启惠 孙松刚 巴德纯 张振厚 王光玉 孔祥玲  出版年:2017
在国家战略性新兴产业和创新驱动的带动下,真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备,在IC装备(PVD、ETCH及CVD等工艺的Load-lock、Transfers、PM、TM真空腔体抽气)、科学仪器、化工制药(低沸溶媒回...
关键词:真空干泵  发展趋势  面向应用  模块化 集成化 智能化
基于磁控溅射方法的PDMS微芯片表面改性的实验研究
9
中国真空学会2016学术年会 2016陈树雷 刘坤 宁英超 蔺增 巴要帅 巴德纯  出版年:2016
聚二甲基硅氧烷(PDMS)具有透光性优良、化学性质稳定、加工简便、价格低廉以及生物兼容性等特点,是目前微流控芯片制备中常见的聚合物有机材料[1-2]。它的高疏水性限制了其在微流控技术领域的进一步应用,因此对PDMS 的表...
关键词:PDMS芯片  表面改性 磁控溅射 二氧化硅
单级水蒸气喷射泵抽气模型的改进
10
第十三届国际真空科学与工程应用学术会议 2017魏如垒 王晓冬 巴德纯 张基闯 付强  出版年:2017
从研究传统的单级水蒸气喷射泵抽气模型出发,对前人的三种典型计算模型的计算结果与实验数据进行比较,得出各自的计算误差,继而对各自的实用性进行评估。针对现有的实验系统,通过实验得到最佳的工作蒸汽压力和引射蒸汽压力,计算得出引...
关键词:水蒸气喷射泵  抽气理论  曲面拟合 设计计算  
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