文献类型：会议

作　　者：刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉

作者单位：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

会议文献：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会论文集

会议名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会

会议日期：20161202

会议地点：中国广东广州

主办单位：广东省振兴科技基金会;广东省真空学会

出版日期：20161202

学会名称：广东省真空学会

语　　种：中文

摘　　要：在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下,半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备,已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例,干泵作为前道序生产线上70%设备都需要的重要装备,主要应用于PVD、ETCH及CVD等工艺的Load-lock、Transfers、PM、TM真空腔体抽气等各类工艺。同时,真空干泵在科学仪器、化工制药

关 键 词：真空干泵  发展趋势  面向应用  模块化 集成化

分 类 号：TB752]