会议论文详细信息
多口复合分子泵抽气口位置对抽气性能影响的研究
文献类型：会议
作者单位：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所,辽宁沈阳,110819
会议文献：第十三届国际真空科学与工程应用学术会议论文集
会议名称：第十三届国际真空科学与工程应用学术会议
会议日期：20170813
会议地点：沈阳
主办单位：中国真空学会;中国机械工程学会
出版日期：20170813
语 种：中文
摘 要：复合分子泵作为获得清洁高真空环境的重要设备，应用领域不断扩大，其结构形式也越来越多样化，例如多口复合分子泵的开发，为逆流氦质谱检漏技术提供了更好的支持，能够很好地解决逆流检漏时因返流量过小而导致灵敏度降低的问题。基于此，本文以多口复合分子泵为研究对象，对其应用于逆流氦质谱检漏仪时的抽气特性进行了研究。
关 键 词：多口复合分子泵 逆流检漏 计算程序 结构设计 抽气性能
分 类 号：TB7] TK2]
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