会议论文详细信息
涡旋干式真空泵内气体流动的数值模拟研究
文献类型：会议
作者单位：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所,辽宁沈阳,110819
会议名称：中国真空学会2016学术年会
会议日期：20160812
会议地点：昆明
主办单位：中国真空学会
出版日期：20160812
语 种：中文
摘 要：涡旋干式真空泵具有洁净无油、体积小、工作压力范围宽、振动小、噪声小等优点，被广泛应用于半导体制造、生物制药等需求清洁真空的行业。本文基于 CFD 方法和动网格技 术建立了涡旋干式真空泵内瞬态流动的仿真模型，并对粘滞流态下的工况进行了数值计算，模拟的抽速与实验对比误差小于 10％，表明该数值模型能够准确预测泵的性能。在此基础上，对涡旋真空泵内的工作过程，泵内存在的内压缩和外压缩现象，以及气体压力、速度和温度 的分布及其变化进行了分析，为涡旋干式真空泵的设计改进提供了有效的手段。
关 键 词：干式涡旋真空泵 计算流体力学(CFD) 动网格 数值模拟
分 类 号：TB7] TB1
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
