文献类型：会议

作　　者：刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉

作者单位：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所,辽宁沈阳,110819 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,辽宁沈阳 110179

会议文献：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会论文集

会议名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会

会议日期：20161200

会议地点：广州

主办单位：广东省真空学会;广东省振兴科技基金会

出版日期：20161200

语　　种：中文

摘　　要：在国家战略性新兴产业和创新驱动发展政策不断完善的带动下，半导体、电子材料、集成电路等产业保持快速增长的趋势。真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备，已然成为IC装备产业中核心部件。以集成电路产业为例，干泵作为前道序生产线上70％设备都需要的重要装备，主要应用于PVD、ETCH及CVD等工艺的Load-lock、Transfers、PM、TM真空腔体抽气等各类工艺。同时，真空干泵在科学仪器、化工制药(低沸溶媒回收/真空干燥/芳烃抽提/油气回收等)、钢铁冶金(VD/VOD等)等行业也出现了爆发性和替代性的增长。德国、英国、法国、日本和美国等主要发达国家的真空企业各自经历了30余年的发展，相继出现了各具特色的真空干泵产品，满足了不同应用领域和工况的要求。应用工艺的千变万化，对真空干泵的应用要求将更为具体和个性化，而干泵产品成本和可靠性的内在竞争特点则决定了干泵必须进行批量化的发展模式。真空干泵模块化，是解决产品个性研发和批量生产的最佳途径：模块化将少数零件构成泵系列，以降低成本，缩短交货时间，个性化要求产品逐渐趋向于朝多品种、小批量的方向发展。新一代的真空干泵，将具有更为智能化和集约化的发展趋势。干泵智能控制、故障诊断、远程运维及自适应功能的真空干泵产品将满足未来装备自动化高要求;磁力驱动泵和屏蔽泵等无密封泵技术的需求量将呈持续增长的强劲势头;机、电、仪一体化和表面涂覆与表面处理技术在改善泵的流动特性和耐腐蚀性方面变得日益重要;满足不同工况和用途的需求，真空干泵产品势必向扩大品种规格、拓展性能范围方向发展。为适应国内真空干泵需求产业的规模化发展，真空干泵研发和生产应进一步的面向应用，从设计、制造、装配、电控、传动、密封�

关 键 词：真空干泵  发展趋势  面向应用  模块化 集成化

分 类 号：TN4] TP3[计算机类]