会议论文详细信息
真空干泵模块化、集成化与智能化发展趋势
文献类型：会议
作者单位：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究所,辽宁沈阳,110819 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,辽宁沈阳 110179
会议文献：第十三届国际真空科学与工程应用学术会议论文集
会议名称：第十三届国际真空科学与工程应用学术会议
会议日期：20170813
会议地点：沈阳
主办单位：中国真空学会;中国机械工程学会
出版日期：20170813
语 种：中文
摘 要：在国家战略性新兴产业和创新驱动的带动下，真空干泵作为获取清洁真空环境的关键设备，在IC装备(PVD、ETCH及CVD等工艺的Load-lock、Transfers、PM、TM真空腔体抽气)、科学仪器、化工制药(低沸溶媒回收/真空干燥/芳烃抽提/油气回收等)、钢铁冶金(VD/VOD等)等行业呈现了爆发性和替代性的增长。
关 键 词：真空干泵 发展趋势 面向应用 模块化 集成化 智能化
分 类 号：TB7] TN1]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
