登录    注册    忘记密码

北京科华微电子材料有限公司 收藏

导出分析报告

研究主题:光刻胶    组合物    感光剂    光刻    苯环    

研究学科:电子信息类    经济学类    

被引量:49H指数:5北大核心: 3 CSCD: 4

-

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一机构
结果分析中...
排序方式:

72 条 记 录,以下是 1-10

我国超净高纯试剂市场需求及产业化前景
1
《精细与专用化学品》北京科华微电子材料有限公司 穆启道  出版年:2008
一 微电子技术发展现状及趋势 随着集成电路集成度的不断提高,电路的线宽越来越细。从第一个晶体管问世算起.半导体技术的发展已有多半个世纪了.现在它仍保持着强劲的发展态势,继续遵循Moore定律,即芯片集成度18个月翻一番...
关键词:超净高纯试剂  产业化前景  市场需求  电路集成度  Moore定律  ROADMAP 半导体技术 技术发展现状  
I-Line光刻胶材料的研究进展
2
《影像科学与光化学》北京科华微电子材料有限公司 郑金红  出版年:2012
酚醛树脂-重氮萘醌正型光刻胶由于其优异的光刻性能,在g-line(436nm)、i-line(365nm)光刻中被广泛使用.g-line光刻胶胶、i-line光刻胶,两者虽然都是用线型酚醛树脂做成膜树脂,重氮萘醌型酯化物...
关键词:i-line  光刻胶 酚醛树脂 感光剂 溶解促进剂  
我国电子化学品“十一五”发展方向(一)
3
《精细与专用化学品》北京科华微电子材料有限公司;清华大学国际技术转移中心 郑金红 侯宏森  出版年:2007
综述了"十五"期间我国为集成电路、印刷电路板和平板显示产业配套的电子化学品的现状,以及这3个领域在"十一五"期间的发展趋势和发展重点,并对产业政策提出了建议。"十五"期间我国电子化学品的年均增长率超过了20%,预计到20...
关键词:光刻胶 高纯试剂 塑封料 液晶
我国光刻胶的市场现状及发展趋势
4
《精细与专用化学品》北京科华微电子材料有限公司 郑金红  出版年:2009
现代微电子技术按照摩尔定律在不断发展.光刻技术也经历了从G线(436nm),I线(365nm),到深紫外248nm.及目前的193nm光刻的发展历程.相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生.光刻胶中的关键组分,如成膜树脂、...
关键词:光刻胶 发展趋势  市场现状  193nm光刻  微电子技术 光刻技术 摩尔定律  成膜树脂
集成电路制造用光刻胶发展现状及挑战
5
《精细与专用化学品》北京科华微电子材料有限公司 李冰  出版年:2021
简要介绍了光刻技术的发展和得到更小线宽的途径。详细介绍了不同光刻技术下光刻胶的发展。基于中国光刻胶的发展现状,提出了加快光刻胶开发与应用的建议。
关键词:光刻胶 极紫外光刻 丙烯酸树脂 金刚烷
光刻胶材料发展状况及下一代光刻技术对图形化材料的挑战
6
《新材料产业》北京科华微电子材料有限公司 李冰 马洁 刁翠梅 孙嘉 李海波  出版年:2018
一、背景光刻胶是制造集成电路的关键材料,其性能直接影响到集成电路芯片上的集成度、运行速度及功耗等性能。在摩尔定律的推动下,集成电路芯片集成度不断提高,光刻胶技术也不断发展,经历了宽谱光刻胶、G/I线光刻胶、248nm光刻...
关键词:下一代光刻技术 材料发展  光刻胶 图形化 集成电路芯片 芯片集成度 运行速度 摩尔定律  
193nm浸没式光刻材料的研究进展
7
《半导体技术》北京科华微电子材料有限公司 何鉴 高子奇 李冰 郑金红 穆启道  出版年:2008
国家"十一五"重点攻关计划支持项目(JPPT-115-490)
介绍了193 nm浸没式光刻技术的兴起和面临的挑战。在所涉及的材料方面,对第一代、第二代及第三代的浸没液体进行了介绍,对顶部涂料的类型及其应用进行了归纳概述。并对顶部涂料存在的问题进行了阐述。对光刻胶材料中涉及的产酸剂、...
关键词:193  nm浸没式光刻  浸没液体  顶部涂料  光刻胶
用于浸没式工艺的光刻胶研究进展
8
《影像科学与光化学》北京科华微电子材料有限公司;中国科学院上海有机化学研究所 何鉴 盛瑞隆 穆启道  出版年:2009
北京市科技计划项目(课题编号:Z08080302110801)
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间,从而提高光刻分辨率的一种先进技术.此项技术的实际应用,为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用.本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶...
关键词:浸没式光刻 光刻胶 主体树脂  光致产酸剂  
我国电子化学品“十一五”发展方向(二)
9
《精细与专用化学品》北京科华微电子材料有限公司;清华大学国际技术转移中心 郑金红 侯宏森  出版年:2007
关键词:电子化学品 “十一五”  PCB工业 加工处理  电子元件 印刷电路板 总产值 发展速度  
用于大分子定向自组装的新型嵌段共聚物的合成与表征
10
《影像科学与光化学》北京科华微电子材料有限公司;Department of Chemical and Biomolecular Engineering;Department of Chemistry and Biomolecular Engineering 李冰 李海波 Mark Neisser Caleb L.Breaux Clifford L.Henderson  出版年:2018
先导与优势材料创新项目(Z161100002116001)
设计了具有高Flory-Huggins相互作用参数的嵌段共聚物聚(对叔丁基苯乙烯)-b-聚(甲基丙烯酸羟乙酯)(PtBS-b-PHEMA),并分别采用阴离子聚合和原子转移自由基聚合(ATRP)方式制备了不同嵌段比例、不同...
关键词:大分子自组装  嵌段共聚物 小角X射线散射 阴离子聚合 原子转移自由基聚合
已选条目 检索报告 聚类工具

版权所有©重庆科技学院 重庆维普资讯有限公司 渝B2-20050021-7
 渝公网安备 50019002500408号 违法和不良信息举报中心