文献类型：期刊文章

作　　者：郑金红[1]

机构地区：[1]北京科华微电子材料有限公司,北京101312

出　　处：《影像科学与光化学》

年　　份：2012

卷　　号：30

期　　号：2

起止页码：81-90

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、PROQUEST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：酚醛树脂-重氮萘醌正型光刻胶由于其优异的光刻性能,在g-line(436nm)、i-line(365nm)光刻中被广泛使用.g-line光刻胶胶、i-line光刻胶,两者虽然都是用线型酚醛树脂做成膜树脂,重氮萘醌型酯化物作感光剂,但当曝光波长从g-line发展到i-line时,为适应对应的曝光波长以及对高分辨率的追求,酚醛树脂及感光剂的微观结构均有变化.在i-line光刻胶中,酚醛树脂的邻-邻′相连程度高,感光剂酯化度高,重氮萘醌基团间的间距远.溶解促进剂是i-line光刻胶的一个重要组分,本文对其也进行了介绍.

关 键 词：i-line  光刻胶 酚醛树脂 感光剂 溶解促进剂  

分 类 号：TQ437]