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苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室 收藏

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研究主题:等离子体    感应耦合等离子体    脉冲激光沉积    介电性质    介电    

研究学科:电子信息类    电气类    核工程类    机械类    

被引量:385H指数:9WOS: 26 EI: 53 北大核心: 67 CSCD: 74

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119 条 记 录,以下是 1-10

射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移 ( EI收录)
1
《物理学报》苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室 李伙全 宁兆元 程珊华 江美福  出版年:2004
利用射频磁控溅射法在n型单晶硅衬底上制备了ZnO薄膜 .通过改变源气体中氩气和氧气的流量比制备了具有不同化学计量比的ZnO薄膜 ,并且将它们在真空中作了加热后处理来研究ZnO薄膜的光致发光特性 .这些在常温衬底上沉积的薄...
关键词:氧化锌薄膜 射频磁控溅射沉积  光致发光  退火处理  蓝光发射 禁带宽度 光谱红移  
ZnO:Al透明导电膜的制备及其性能的研究
2
《材料科学与工程》苏州大学薄膜材料实验室 葛水兵 程珊华 宁兆元  出版年:2000
利用脉冲激光法制备了 Zn O:Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能...
关键词:脉冲激光沉积 ZnO膜  掺杂比  掺杂 透明导电膜
扫描隧道显微镜针尖的电化学腐蚀制备方法
3
《苏州大学学报(自然科学版)》苏州大学薄膜材料实验室 吴雪梅 杨礼富 甘俊彦 王梦玉 鞠艳  出版年:1997
本文利用电化学腐蚀方法设计并搭建了一种扫描隧道显微镜(STM)针尖制备的直流腐蚀电路。电路中使用了9013三极管和LM311快速比较器,使电解池切断时间低于500ns,成功地制备了质量较高的钨针尖。
关键词:扫描隧道显微镜 电化学腐蚀 钨针尖  针尖
氧分压强和基片温度对脉冲激光沉积的ZnO∶Al膜性能的影响 ( EI收录)
4
《功能材料》苏州大学薄膜材料实验室;中国科学院上海技术物理研究所 葛水兵 程珊华 宁兆元 沈明荣 甘肇强 周咏东 褚君浩  出版年:2000
利用脉冲激光法制备了ZnO∶Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :基片温度、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的...
关键词:脉冲激光沉积 ZnO膜  基片温度 氧分压强  
ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N_2气氛中的热退火研究 ( EI收录)
5
《物理学报》苏州大学物理系薄膜材料实验室;苏州大学化学系 辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 甘肇强 黄松  出版年:2002
江苏省教育委员会自然科学研究基金资助的课题~~
改变CHF3 CH4源气体流量比 ,使用微波电子回旋共振化学气相沉积方法 (ECR CVD)制备了具有不同C—F键结构的a C :F :H薄膜 ,着重研究了退火对其结构的影响 .结果显示薄膜的厚度及其光学带隙E0 4随...
关键词:电子回旋共振化学气相沉积  红外吸收光谱 热退火 光学带隙 ECR-CND  a-C:F:H薄膜  制备  碳氟氢薄膜  
偏压对多弧离子镀TiN膜层的影响 ( EI收录)
6
《表面技术》苏州大学薄膜材料实验室;苏州大学测试中心 辛煜 范叔平 宁兆元 杨礼富 薛青 金宗明  出版年:1997
主要运用多弧离子镀技术研究了偏压对不锈钢基片上镀制的TiN膜层的影响,运用扫描电子显微镜(SEM),X-射线衍射仪(XRD)和附着力测定仪研究了膜表面的钛滴、针孔、膜的取向和临界载荷等性能。结果表明:低偏压下膜表面的针孔...
关键词:多弧离子镀 喷镀 氮化钛 离子镀 镀膜  偏压
SiCOH低介电常数薄膜的性质和键结构分析 ( EI收录 SCI收录)
7
《物理学报》苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室 王婷婷 叶超 宁兆元 程珊华  出版年:2005
苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室资助的课题~~
以十甲基环五硅氧烷为反应源、采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR_CVD)方法制备了具有低介电常数 ,且电绝缘性能和热稳定性优良的SiCOH薄膜 .通过对富氏变换红外光谱 (FTIR)的分析 ,比较了反应源和薄...
关键词:键结构  薄膜  键角 基团 电子回旋共振 变换  FTIR 低介电常数 硅氧烷 甲基  
尖晶石型铁氧体薄膜的研究现状
8
《磁性材料及器件》苏州大学薄膜材料实验室;苏州医学院生物教研室 陈亚杰 狄国庆 杨莉玲  出版年:1999
综述了近十年来国内外有关尖晶石型铁氧体的研究和应用状况,着重介绍了1996~1998年期间国外有关软磁铁氧体多晶薄膜的成膜技术、物性分析、应用领域、发展前景等方面的最新研究成果。
关键词:尖晶石铁氧体 薄膜  成膜技术  铁氧体
锂硫电池的研究现状与展望
9
《电池》武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室 皮华滨 王传新 汪建华 吴雪梅  出版年:2009
湖北省自然科学基金(2007ABA006);湖北省教育厅重点项目(2007)
从电解质体系研制、锂负极改性、硫系正极材料制备等3个方面,介绍了近年来锂硫电池的研究现状,并对发展前景进行了展望。
关键词:锂硫电池 电解质 锂负极  正极材料
平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响 ( EI收录 SCI收录)
10
《物理学报》苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室 狄小莲 辛煜 宁兆元  出版年:2006
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助的课题.~~
基于感应耦合等离子体的变压器模型,分析了感应耦合等离子体的功率耦合效率与线圈配置(几何尺寸、电学参量)及等离子体基本参量(等离子体电子密度、电子-中性粒子有效碰撞频率)之间的关系;然后,改变平板型线圈的匝数从而改变了线圈...
关键词:感应耦合等离子体 功率耦合效率  变压器模型
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