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研究主题:等离子体 感应耦合等离子体 脉冲激光沉积 介电性质 介电
研究学科:电子信息类 电气类 核工程类 机械类
被引量:384H指数:9WOS: 26 EI: 53 北大核心: 67 CSCD: 74
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