北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室 
研究主题：MEMS 微机电系统 硅 静电驱动 英文
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类 电气类 航空航天类
- MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真
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- 《传感技术学报》北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 王展飞 鲁文高 李峰 李志宏 出版年：2008
- 关键词：自激振荡 MEMS陀螺 AGC PI控制
- 一种基于MEMS芯片的新型地面大气电场传感器 ( EI收录)
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- 《电子与信息学报》北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室;中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室;清华大学微电子学研究所 杨鹏飞 陈博 闻小龙 彭春荣 夏善红 郝一龙 出版年：2016
- 关键词：微机电系统 电场传感器 MEMS地面大气电场传感器
- 基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发
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- 《传感技术学报》北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室;中山大学光电材料与技术国家重点实验室 何春华 崔健 闫俊杰 林龙涛 王福娟 郭中洋 杨振川 蔡志岗 闫桂珍 出版年：2011
- 关键词：微机械陀螺 性能测试 闭环驱动控制 LABVIEW软件
- 超陡倒掺杂分布对超深亚微米金属-氧化物-半导体器件总剂量辐照特性的改善 ( EI收录 SCI收录)
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- 《物理学报》北京大学微电子学深圳研究院;长春理工大学微电子系 王思浩 鲁庆 王文华 安霞 黄如 出版年：2010
- 关键词：总剂量效应 超陡倒掺杂 泄漏电流 抗辐射加固.
- ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究 ( EI收录)
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- 《中国机械工程》北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室 陈兢 出版年：2005
- 关键词：微机电系统 电感耦合等离子(ICP)刻蚀 深反应离子刻蚀(DRIE) 侧壁形貌 Notching效应 Bowing效应
- 用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺 ( EI收录)
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- 《Journal of Semiconductors》北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 韩翔 李轶 吴文刚 闫桂珍 郝一龙 出版年：2005
- 关键词：单晶硅 无电镀 铜 镍 MEMS电感 品质因数
- MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法
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- 《传感器与微系统》华南理工大学电子与信息学院;工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室;北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 谷专元 何春华 何燕华 赵前程 张大成 出版年：2017
- 关键词：微机电系统(MEMS)加速度计 硅玻璃阳极键合 键合强度 剪切力
- MEMS陀螺振动特性试验技术
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- 《传感技术学报》北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室 迟晓珠 崔健 闫桂珍 出版年：2008
- 关键词：微机械陀螺 振动特性 频响函数
- 微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述
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- 《太赫兹科学与电子信息学报》北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室 宋宇 张海霞 出版年：2018
- 关键词：微电子机械系统 IEEE 国际会议 MEMS 综述 自动化学会 会展中心 专家学者
- 微型MEMS皮拉尼计研究
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- 《传感技术学报》北京大学微电子研究所 周吉龙 陈肯乐 张锦文 金玉丰 出版年：2008
- 关键词：MEMS 真空封装 皮拉尼计 真空度测试
