期刊文章详细信息
微型MEMS皮拉尼计研究
Research on Micromachined Pirani Gauge
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京大学微电子研究所,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871
年 份：2008
卷 号：21
期 号：3
起止页码：513-516
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版。其试验结果显示该皮拉尼计在10Pa～300Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系。
关 键 词：MEMS 真空封装 皮拉尼计 真空度测试
分 类 号：TN107]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
