文献类型：期刊文章

作　　者：杨鹏飞[1] 陈博[2] 闻小龙[3] 彭春荣[2] 夏善红[2] 郝一龙[1]

机构地区：[1]北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871 [2]中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室,北京100190 [3]清华大学微电子学研究所,北京100084

出　　处：《电子与信息学报》

基　　金：国家自然科学基金项目(61327810;61201078);国家自然科学基金重大仪器专项(61302032)~~

年　　份：2016

卷　　号：38

期　　号：6

起止页码：1536-1540

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：该文基于MEMS电场敏感芯片,研制出了一种新型的地面大气电场传感器,解决了现有场磨式电场仪易磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用SOIMUMPS加工工艺制备,其芯片面积仅为5.5 mm×5.5 mm。该文提出了传感器敏感芯片的弱信号检测方法,设计出了满足环境适应性的传感器整体结构方案,并建立了传感器的灵敏度分析模型。对电场传感器进行测试,测量范围为-50 k V/m^50 k V/m,总不确定度为0.67%,分辨力达到10 V/m,功耗仅为0.62 W。外场试验结果表明,MEMS地面大气电场传感器在晴天和雷暴天的电场探测结果,与Campbell公司场磨式电场仪探测结果都有较好的一致性,说明该传感器能满足预测雷暴要求,实现雷电监测和预警功能。

关 键 词：微机电系统 电场传感器 MEMS地面大气电场传感器  

分 类 号：TP212.1]