文献类型：期刊文章

作　　者：宋宇[1] 张海霞[1]

机构地区：[1]北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871

出　　处：《太赫兹科学与电子信息学报》

年　　份：2018

卷　　号：16

期　　号：2

起止页码：372-378

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSA、IC、JST、UPD、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的大会主席由来自瑞士电子与微技术中心(CSEM)的Michel Despont教授与爱尔兰都柏林城市大学的Jens Ducrée教授共同担任,并设置了最佳口头报告奖与最佳张贴报告奖,得到了国际电气与电子工程协会(IEEE)与IEEE机器人与自动化学会等多个国际组织的大力支持。

关 键 词：微电子机械系统 IEEE 国际会议  MEMS 综述  自动化学会  会展中心 专家学者

分 类 号：TN40]