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MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真
Theoretical Analysis and Numerical Simulation of Closed-Loop Self-Oscillation System for MEMS Vibratory Gyroscopes
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871
基 金:电子预研项目资助(微型陀螺信号读出与处理电路)(51308050201)
年 份:2008
卷 号:21
期 号:8
起止页码:1337-1342
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:对采用AGC(automatic gain control)控制实现的陀螺闭环自激驱动系统进行了理论分析,利用平均技术和相平面法求解出了MEMS振动陀螺闭环自激驱动系统的起振条件以及幅度稳定条件的解析表达式,并进行了数值仿真验证。在该闭环驱动系统中,通过引入PI控制器消除了振动幅度控制的稳态误差。仿真结果很好地吻合了理论分析,理论分析结果可用于指导自激驱动系统的硬件实现。
关 键 词:自激振荡 MEMS陀螺 AGC PI控制
分 类 号:V241.5]
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