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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室 收藏

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研究主题:铁电薄膜    半导体    离子注入    脉冲激光沉积    SOI    

研究学科:电子信息类    电气类    自动化类    机械类    

被引量:413H指数:11WOS: 27 EI: 49 北大核心: 68 CSCD: 112

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132 条 记 录,以下是 1-10

纳米TiO_2/Si薄膜的制备与光催化性能的研究
1
《感光科学与光化学》中科院新疆物理所;中科院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室 符小荣 宋世庚 王学燕 谭辉 武光明 陶明德  出版年:1997
新疆物理所所长基金
纳米TiO2/Si薄膜的制备与光催化性能的研究符小荣1,*宋世庚1,2王学燕1谭辉1武光明1陶明德1(1中科院新疆物理所,乌鲁木齐830011)(2中科院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室,上海200050)关键词Ti...
关键词:二氧化钛半导体  薄膜型 光催化剂 溶胶-凝胶法
溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究 ( EI收录)
2
《物理学报》江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室;中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 袁宁一 李金华 林成鲁  出版年:2002
中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助的课题~~
利用溶胶 凝胶法在SiO2 Si衬底上沉积高取向的V2 O5薄膜 ,在压强低于 2Pa ,温度高于 40 0℃的条件下 ,对V2 O5薄膜进行真空烘烤 ,获得了电阻率变化 3个数量级以上、弛豫宽度为 6 2℃的VO...
关键词:溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜  转换特性  
氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性 ( EI收录)
3
《功能材料》江苏石油化工学院功能材料实验室;中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 袁宁一 李金华 林成鲁  出版年:2001
中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助
氧化钒薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用已成为国际上新颖功能材料研究的热点之一。本文综述了V2 O5和VO2 薄膜电学性能与薄膜组分和结构的相关性 。
关键词:氧化钒薄膜 相变 热电阻温度系数  功能材料
用离子束增强沉积从V_2O_5粉末制备高热电阻温度系数VO_2薄膜 ( EI收录)
4
《物理学报》江苏石油化工学院信息科学系;香港理工大学应用物理系及材料研究中心;中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室;中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 李金华 袁宁一 陈王丽华 林成鲁  出版年:2002
国家自然科学基金 (批准号 :10 175 0 2 7)资助的课题~~
采用了一种用离子束增强沉积从V2 O5粉末直接制备VO2 薄膜的新方法 ,将纯度为 99 7%的V2 O5粉末压成溅射靶 ,在用Ar离子束溅射的同时 ,用氩氢混合束对沉积膜作高剂量离子注入 ,使沉积膜中V2 O5的V—...
关键词:V2O5粉末  制备  离子束增强沉积 VO2薄膜 热电阻温度系数  氧化钒薄膜 五氧化二钒粉末  红外探测 红外成像  
新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究 ( EI收录)
5
《无机材料学报》中国科学院上海冶金所;北京石油化工学院基础部 符晓荣 宋志棠 多新中 林成鲁 武光明  出版年:1999
以硝酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜,结果表明,胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份;薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关.同时,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)...
关键词:薄膜  溶胶凝胶法 纳米级 氧化镁薄膜  
氧化钒薄膜的制备方法及结构性能
6
《江苏石油化工学院学报》江苏石油化工学院功能材料实验室;中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 袁宁一 李金华 林成鲁  出版年:2000
中科院上海冶金研究所离子束开放实验室资助
氧化钒薄膜在非制冷红外成象器件中的应用已成为国际上研究的热点。各种晶体结构的氧化钒性能差异很大 ,为此综述了不同氧化钒晶体的结构和性能。由于制备方法及工艺条件对薄膜性能有较大影响 。
关键词:氧化钒晶体  氧化钒薄膜 制备分析  结构  性能  
Zn铁氧体纳米晶的磁性及微结构研究 ( EI收录)
7
《功能材料》华东师范大学化学系;中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室;Department of Physics;中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 姜继森 高濂 杨燮龙 郭景坤 J.Z.Jiang 沈鸿烈  出版年:2000
通过高能球磨方法由α-Fe2O3+ZnO混合粉体制得的Zn铁氧体纳米晶具有非正型分布的尖晶石结构,表现为亚铁磁性,其比饱和磁化强度σs=16.4emu/g。通过适当的热处理可以使Zn铁氧体的结构向正型分布转变;使其磁性向...
关键词:ZN铁氧体 纳米晶 高能球磨 磁性 微结构
SOI—二十一世纪的微电子技术
8
《功能材料与器件学报》中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 林成鲁 张苗  出版年:1999
与体硅材料和器件比较,SOI具有许多独特的优越性,例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩锁效应等,因而被称为二十一世纪的微电子技术而引起人们越来越多的关注.SOI技术正走向商业应用阶段,特别是应用于高性能、低功耗CMOS电...
关键词:离子注入 注氧隔离 智能剥离  SOI 微电子技术
超高真空电子束蒸发合成晶态AlN薄膜的研究
9
《功能材料与器件学报》中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 黄继颇 王连卫 高剑侠 沈勤我 林成鲁  出版年:1998
用超高真空蒸发Al膜,结合氮化后处理工艺在Si(100)衬底上制备了AlN晶态薄膜。用X射线衍射(XRD)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)等测试分析技术研究了薄膜的微结构特征。结果表明:经过1...
关键词:氮化铝 电子束蒸发 氮化 薄膜  半导体
退火气氛对掺银TiO_2薄膜结构和光催化性能的影响
10
《化学学报》中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室;中国科学院新疆物理研究所;新疆大学化学系 林成鲁 宋世庚 武光明 陶明德 张校刚 符小荣  出版年:1998
中国科学院新疆物理研究所所长基金资助课题
本文采用sol-gel法制备了掺银的TiO_2/glass纳米光催化薄膜,并分别在空气和真空条件下对薄膜进行退火处理.结构和光催化性能的测试结果表明,退火气氛对薄膜的结构和薄膜对染料溶液的光催化降解效率都有影响.经真空退...
关键词:退火气氛  二氧化钛薄膜 掺杂 性能  光催化剂
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