文献类型：期刊文章

作　　者：袁宁一[1] 李金华[1] 林成鲁[2]

机构地区：[1]江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016 [2]中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050

出　　处：《物理学报》

基　　金：中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助的课题~~

年　　份：2002

卷　　号：51

期　　号：4

起止页码：852-856

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004057994283)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000174952500028)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：利用溶胶 凝胶法在SiO2 Si衬底上沉积高取向的V2 O5薄膜 ,在压强低于 2Pa ,温度高于 40 0℃的条件下 ,对V2 O5薄膜进行真空烘烤 ,获得了电阻率变化 3个数量级以上、弛豫宽度为 6 2℃的VO2 多晶薄膜 .以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据 ,详细分析了溶胶 凝胶薄膜在真空烘烤时从V2 O5向VO2 的转化 ,它经历了从VnO2n +1 (n =2 ,3,4,6 )到VO2 的过程 .实验证明 ,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶 凝胶V2 O5结构向VO2

关 键 词：溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜  转换特性  

分 类 号：O484]