中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室

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研究主题：铁电薄膜    半导体    离子注入    脉冲激光沉积    SOI    

研究学科：电子信息类    电气类    自动化类    机械类    

被引量：413H指数：11WOS: 27 EI: 49 北大核心: 68 CSCD: 112