期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国科学院上海冶金所,信息功能材料国家重点实验室,上海200050 [2]北京石油化工学院基础部,北京102600
年 份:1999
卷 号:14
期 号:5
起止页码:828-832
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000083388300021)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:以硝酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜,结果表明,胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份;薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关.同时,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.
关 键 词:薄膜 溶胶凝胶法 纳米级 氧化镁薄膜
分 类 号:TQ132.2] O484]
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引证文献:
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