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中国电子科技集团公司第四十五研究所 收藏

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研究主题:晶圆    化学机械抛光    CMP    全自动    半导体设备    

研究学科:电子信息类    自动化类    机械类    电气类    经济学类    

被引量:1,522H指数:16WOS: 1 EI: 7 北大核心: 37 CSCD: 23

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799 条 记 录,以下是 1-10

引线键合技术的现状和发展趋势
1
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 何田  出版年:2004
作为目前和可预见的将来半导体封装内部连接的主流方式,引线键合技术不断变化以适应各种半导体封装新工艺和材料的要求和挑战。以引线键合设备为中心,全面深入地综述了引线键合技术在引线间距(键合精度)、生产效率(键合速度)、键合质...
关键词:引线键合 引线间距  生产效率 多芯片模块 层叠芯片  
步进电机加减速曲线的算法研究
2
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 崔洁 杨凯 肖雅静 颜向乙  出版年:2013
阐述了加减速算法在步进电机控制系统中发挥的重要作用,分析了步进电机的梯形曲线、指数曲线和S形曲线等常用曲线加减速算法,介绍了一种能满足更高精度和速度平滑性的三角曲线加减速算法,最后总结了各算法的不同特性及具体应用场合。
关键词:步进电机 加减速算法  三角曲线  
AOI系统在PCB中的应用
3
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 姚立新 张武学 连军莉  出版年:2004
针对PCB制造过程中的缺陷,主要介绍自动光学检测(AOI)系统的作用、工作原理、生产流程、主要组成部分及主要技术模块。
关键词:自动光学检测 印刷电路板 缺陷检测  
半导体IC清洗技术
4
《半导体技术》中国电子科技集团公司第四十五研究所 李仁  出版年:2003
介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法,并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。
关键词:半导体 IC 清洗技术 湿法清洗 RCA清洗 稀释化学法  IMEC清洗法  单晶片清洗  干法清洗
3D IC集成与硅通孔(TSV)互连
5
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 童志义  出版年:2009
介绍了3维封装及其互连技术的研究与开发现状,重点讨论了垂直互连的硅通孔(TSV)互连工艺的关键技术及其加工设备面临的挑战,提出了工艺和设备开发商的应对措施并探讨了3DTSV封装技术的应用前景。
关键词:3D封装 芯片互连 深硅刻蚀  硅通孔(TSV)  TSV刻蚀系统  
引线键合工艺介绍及质量检验
6
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 吕磊  出版年:2008
介绍了引线键合工艺流程、键合材料及键合工具,讨论分析了影响引线键合可靠性的主要工艺参数,说明了引线键合质量的评价方法,并提出了增强引线键合可靠性的措施。
关键词:引线键合 球形键合  楔形键合  毛细管劈刀  楔形劈刀  键合拉力测试  键合剪切力测试  
国内外MEMS器件现状及发展趋势
7
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 童志义 赵晓东  出版年:2002
介绍了MEMS器件的发展历史 ,国内外研究和应用现状 ,对国内外差距进行了比较 ,给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 。
关键词:MEMS器件 现状  发展趋势  产业化  半导体 微细加工技术 微电子机械系统 微型机械加工技术  
碳化硅材料研究现状与应用展望
8
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 王家鹏 贺东葛 赵婉云  出版年:2018
介绍了碳化硅材料的物理特性、加工工艺,展望了碳化硅材料的应用前景,提出了深入研究碳化硅材料的必要性以及紧迫感。
关键词:碳化硅 半导体材料 加工工艺  应用展望  
集成电路粘片机视觉检测技术研究
9
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 郭强生 靳卫国 周庆亚  出版年:2005
集成电路粘片机是将半导体晶圆上微芯片贴装到引线基架的半导体制造后工序关键性生产设备。基于视觉检测的全自动集成电路粘片机,其视觉检测技术是关键及核心技术。利用图像处理、模式识别技术,采用固定阈值分割、图像投影、像素统计、区...
关键词:集成电路 视觉检测 粘片机
基于Modbus RTU协议的数据采集平台设计与实现
10
《电子工业专用设备》中国电子科技集团公司第四十五研究所 艾博 许向阳 贾月明  出版年:2021
针对液氮补给装置的数据采集需求,在VS2010环境下设计开发了基于Modbus RTU协议的数据采集平台,通过RS-485串行总线标准,实现串口Modbus协议主站与ADAM4117数据采集模块的通信。通过对数据采集平台...
关键词:数据采集 Modbus RTU协议  串行总线 实时监测
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