期刊文章详细信息
国内外MEMS器件现状及发展趋势
The Situation and Development Tendency for MEMS both Domestic and Overseas
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,甘肃平凉744000
年 份：2002
卷 号：31
期 号：4
起止页码：200-206
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了MEMS器件的发展历史 ,国内外研究和应用现状 ,对国内外差距进行了比较 ,给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 。
关 键 词：MEMS器件 现状 发展趋势 产业化 半导体 微细加工技术 微电子机械系统 微型机械加工技术
分 类 号：TN405] TP212]
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