合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 
研究主题：MEMS MEMS开关 ICP 工艺参数 刻蚀
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类
- ICP深硅刻蚀工艺研究 ( EI收录)
- 1
- 《真空科学与技术学报》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心;中国兵器工业集团北方通用电子集团有限公司 许高斌 皇华 展明浩 黄晓莉 王文靖 胡潇 陈兴 出版年：2013
- 关键词：感应耦合等离子体刻蚀 深硅刻蚀 侧壁光滑陡直刻蚀 高深宽比刻蚀 工艺参数
- 超声波测距自动增益控制电路的设计
- 2
- 《电子器件》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心;合肥科盛微电子科技有限公司 汪群 许高斌 陈兴 马渊明 金传恩 欧耿洲 出版年：2017
- 关键词：超声波测距 自动增益控制电路(AGC) 可变增益放大器
- 复杂环境电容式微加速度传感器可靠性分析
- 3
- 《电子测量与仪器学报》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 许高斌 余智 徐礼建 马渊明 陈兴 出版年：2019
- 关键词：多失效模式 失效相关性 可靠性 贝叶斯定理
- 纳米压电梁谐振式加速度计
- 4
- 《电子测量与仪器学报》合肥工业大学 许高斌 王亚洲 陈兴 马渊明 张文晋 出版年：2020
- 关键词：压电驱动及其检测 纳米压电梁 低交叉耦合 高灵敏度
- 一种新型超声波测距系统信号处理方法
- 5
- 《电子技术应用》合肥工业大学电子科学与应用物理学院;合肥科盛微电子科技有限公司 许高斌 闵锐 陈兴 马渊明 金传恩 出版年：2016
- 关键词：超声波测距算法 嵌入式系统 IIR数字滤波器 峰值包络检测
- 谐振式MEMS压力传感器的设计与分析
- 6
- 《仪表技术与传感器》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 许高斌 胡海霖 徐枝蕃 陈兴 马渊明 出版年：2019
- 关键词：MEMS 谐振式压力传感器 静电激励 压阻检测 三维混合集成封装
- 三轴电容式微加速度计接口ASIC设计
- 7
- 《电子测量与仪器学报》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 许高斌 李新 陈兴 马渊明 出版年：2015
- 关键词：三轴微加速度计 接口ASIC 时分复用 相关双倍采样 Sigma_Delta
- SOI基纳米硅薄膜超微压压力传感器研究
- 8
- 《电子测量与仪器学报》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 许高斌 李凌宇 陈兴 马渊明 出版年：2013
- 关键词：SOI 纳米硅薄膜 超微压 压力传感器
- ICP硅深刻蚀槽壁垂直度的研究
- 9
- 《微纳电子技术》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心;中国兵器工业集团北方通用电子集团有限公司 刘方方 展明浩 许高斌 黄斌 管朋 出版年：2015
- 关键词：电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 工艺参数 正交实验 过程优化 刻蚀垂直度
- 多孔硅相对湿度传感器的设计
- 10
- 《传感技术学报》合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 张胜兵 许高斌 陈兴 马渊明 出版年：2015
- 关键词：MEMS 湿度传感器 仿真 实验 多孔硅 自解吸附
