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合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心 收藏

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研究主题:MEMS    MEMS开关    ICP    工艺参数    刻蚀    

研究学科:电子信息类    自动化类    机械类    

被引量:92H指数:6EI: 2 北大核心: 17 CSCD: 15

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