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期刊文章详细信息

复杂环境电容式微加速度传感器可靠性分析    

Reliability analysis for MEMS accelerometer under multiple environments

  

文献类型:期刊文章

作  者:许高斌[1] 余智[1] 徐礼建[1] 马渊明[1] 陈兴[1]

Xu Gaobin;Yu Zhi;Xu Lijian;Ma Yuanming;Chen Xing(Micro Electromechanical System Research Center of Engineering and Technology of Anhui Province,School of Electronic Science&Applied Physics,Hefei University of Technology,Hefei 230009,China)

机构地区:[1]合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心

出  处:《电子测量与仪器学报》

基  金:装备预研/教育部联合基金(6141A02022422);安徽省重点研发计划(1804a09020018)资助项目

年  份:2019

卷  号:0

期  号:8

起止页码:154-159

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2017、CSCD、CSCD2019_2020、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:提出了一种基于贝叶斯定理的复杂环境多失效模式可靠性模型,在考虑失效模式相关性的前提下,提高了梳齿电容式微加速度传感器可靠度评估的准确性。运用泊松随机过程以及线性累积损伤理论分析了随机冲击载荷作用过程和振动载荷下器件的疲劳损伤过程,分别建立了过应力断裂失效和疲劳失效可靠性模型,并利用贝叶斯定理分析失效模式之间的相关性。通过蒙特卡洛方法验证了该可靠性模型能够准确预测电容式微加速度传感器可靠度随时间的变化规律。

关 键 词:多失效模式 失效相关性  可靠性 贝叶斯定理

分 类 号:TP212]

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同被引文献:

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