文献类型：期刊文章

作　　者：许高斌[1] 李新[1] 陈兴[1] 马渊明[1]

机构地区：[1]合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心,合肥230009

出　　处：《电子测量与仪器学报》

基　　金：国家863计划项目(2013AA041101)资助项目

年　　份：2015

卷　　号：29

期　　号：7

起止页码：978-987

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSCD、CSCD2015_2016、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于CSMC0.5um CMOS工艺,给出了一款3轴电容式微加速度计接口ASIC的详细设计方案。利用时分复用技术实现了使用同一电路模块同时检测3个轴向的加速度信号,利用相关双倍采样技术提高了电容电压转换的分辨率,利用Sigma_Delta调制技术对电路噪声进行有效整形。仿真得到系统的分辨率为0.91 a F/Hz1/2,3个轴向的噪声密度分别为43.60μg/Hz1/2、43.60μg/Hz1/2和45.70μg/Hz1/2,3个轴向输出数字脉冲信号占空比的非线性度分别为1.38%、0.91%和1.79%。

关 键 词：三轴微加速度计  接口ASIC  时分复用 相关双倍采样  Sigma_Delta  

分 类 号：TH824.4[仪器类]