复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 
研究主题：薄膜晶体管 存储器 原子层沉积 光刻机 集成电路
研究学科：电子信息类 机械类 自动化类 电气类
- 基于二维材料及其范德瓦尔斯异质结的光电探测器
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- 《物理化学学报》复旦大学微电子学院专用集成电路和系统国家重点实验室 李家意 丁一 张卫 周鹏 出版年：2019
- 关键词：光电探测 二维材料 异质结 过渡金属二硫化物 机械剥离
- 基于可信计算应用的双域椭圆曲线密码协处理器研究与实现
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- 《微电子学与计算机》上海大学机电工程与自动化学院;山东华翼微电子技术股份有限公司;复旦大学微电子学院 韩光 陈光化 曾为民 刘晶晶 出版年：2020
- 关键词：可信计算平台模块 椭圆曲线密码协处理器 双有限域 自动仿真
- 光刻机运动台控制方法研究进展
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- 《激光与光电子学进展》复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心;复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 姜龙滨 丁润泽 丁晨阳 杨晓峰 徐云浪 出版年：2022
- 关键词：光刻机 运动台 前馈控制 反馈控制
- 热退火对等离子体增强化学气相沉积SiCOH薄膜结构与性能的影响 ( EI收录)
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- 《物理学报》复旦大学材料科学系;复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 谭再上 吴小蒙 范仲勇 丁士进 出版年：2015
- 关键词：热退火 SiCOH薄膜 等离子体增强化学气相沉积 结构与性能
- 原子层刻蚀技术研究进展
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- 《微纳电子与智能制造》复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室;上海大学机电工程与自动化学院 卢红亮 马宏平 袁光杰 张卫 出版年：2019
- 关键词：原子层刻蚀 纳米级 集成电路 晶体管
- 系统工程方法及其在先进半导体装备领域的应用
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- 《激光与光电子学进展》复旦大学工程与应用技术研究院;上海交通大学清源研究院;上海微电子装备(集团)股份有限公司;复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 殳峰 许智磊 何乐 杨晓峰 出版年：2022
- 关键词：光学设计与制造 系统工程 基于模型的系统工程 半导体装备 信息物理系统
- 不同晶向BiFeO3薄膜的表征及导电性研究 ( EI收录)
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- 《功能材料》复旦大学微电子学院 刘少清 出版年：2020
- 关键词：脉冲激光沉积 铁酸铋 铁电 导电机制 空间电荷限制导电
- 高性能栅压自举开关的设计
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- 《半导体技术》复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 穆敏宏 叶凡 陈勇臻 出版年：2017
- 关键词：模数转换器(ADC) 栅压自举采样开关 互补型开关 导通电阻 沟道电荷注入
- 两路信号控制的液滴单向运输数字微流控芯片
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- 《传感器与微系统》复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 盛文洁 王续博 周嘉 出版年：2019
- 关键词：数字微流 微液滴单向输运 介质上的电润湿
- 基于集成氮化硅微腔的光学传感芯片研究
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- 《计测技术》上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室;复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 翟珊 顾昌林 冯吉军 卢红亮 出版年：2018
- 关键词：集成光子芯片 微环谐振腔 氮化硅 光学传感器 悬空结构
