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北京北仪创新真空技术有限责任公司 收藏

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研究主题:分子泵    真空镀膜设备    真空室    真空技术    镀膜    

研究学科:机械类    电子信息类    自动化类    电气类    能源动力类    

被引量:90H指数:4EI: 4 北大核心: 13 CSCD: 5

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106 条 记 录,以下是 1-10

机械优化设计理论方法研究综述
1
《机床与液压》北京工业职业技术学院;清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室;北京北仪创新真空技术有限责任公司;解放军军械工程学院 董立立 赵益萍 梁林泉 朱煜 段广洪  出版年:2010
博士后科学基金(20090450387);国家科技支撑计划(2006BAF02A02)
机械优化设计是一种非常重要的现代设计方法,能从众多的设计方案中找出最佳方案,从而大大提高设计的效率和质量。现代工程装备的复杂性使得机械优化设计变得越来越困难,利用新的科学理论探索新的优化设计方法是该研究领域的一个重要方面...
关键词:机械  优化设计 数学模型 优化方法  智能优化  
真空仪器设备应用与发展
2
《中国仪器仪表》北京北仪创新真空技术有限责任公司 刘敏强  出版年:2017
真空仪器设备的在部分航天及军工领域的应用与发展。从真空技术的3个方面——真空获得、真空检测、真空应用简要介绍真空技术目前的发展状况。在真空获得方面介绍低真空泵国内外发展状况,高真空泵方面重点介绍分子泵目前的国内发展状况;...
关键词:真空仪器  分子泵 真空应用  
涡旋真空泵——一种具有发展潜力的无油泵
3
《真空》北京北仪创新真空技术有限责任公司 杨静 陈素君  出版年:2009
涡旋真空泵是一种新型的无油直排大气机械泵,它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构简单紧凑、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点。本文简要介绍了涡旋泵的发展过程、工作原理、结构特点、设计和工艺技术...
关键词:涡旋 真空泵 动涡旋盘(转子)  静涡旋盘(定子)  
等离子体增强化学气相沉积设备的研制
4
《真空》北京北仪创新真空技术有限责任公司 安其  出版年:2012
本文介绍非晶硅薄膜太阳能电池生产线的核心设备———等离子体增强化学气相沉积(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)系统,并阐述了其重要地位。非晶硅太阳能电池制造的...
关键词:非晶硅 太阳能电池 PECVD
现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现
5
《电子测量与仪器学报》西南交通大学电气工程学院;北京北仪创新真空技术有限责任公司 丁雪成 冯震宇 吴丽颖 单允章  出版年:2008
真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代...
关键词:PLC 真空镀膜机 电气控制
复合分子泵转子离心变形与热变形的有限元分析
6
《真空》北京北仪创新真空技术有限责任公司;哈尔滨工程大学机电工程学院 郁晋军 张军安 刘敏强 陈素君  出版年:2011
本文利用有限元分析软件ANSYS12.0对复合分子泵转子的离心变形与热变形进行了分析。通过施加惯性载荷和温度载荷,得到转子的离心变形与热变形。对不同载荷下分析结果的比较,了解了惯性载荷与温度载荷对分子泵转子变形影响大小。...
关键词:分子泵 离心变形  热变形
金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响 ( EI收录)
7
《真空科学与技术学报》上海空间电源研究所;北京北仪创新真空技术有限责任公司 刘成 安其 周丽华 钱子勍 叶晓军 陈鸣波  出版年:2011
上海市博士后科研资助计划项目(08R21420200);上海市引进技术的吸收与创新计划项目(07X12-016)
通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于...
关键词:柔性衬底 屏蔽罩 微晶硅 非晶硅/微晶硅  叠层太阳电池
基于可靠性分析的真空镀膜机控制系统研究
8
《北京联合大学学报》西南交通大学电气工程学院;北京北仪创新真空技术有限责任公司 丁雪成 吴丽颖 冯震宇 张鸿年  出版年:2009
通过对真空镀膜机的故障树分析,找出影响整个系统的薄弱环节,为控制系统可靠性设计提供参考。结合镀膜工艺流程,对控制系统软、硬件进行了论证分析和相应的设计,实现了以PLC为核心的真空镀膜机控制系统。该控制系统具有手动/自动控...
关键词:真空镀膜机 可靠性 故障树分析法 PLC
镀膜设备真空系统主泵的配置
9
《真空》北京北仪创新真空技术有限责任公司 陈素君 杨静  出版年:2010
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真...
关键词:真空镀膜设备 真空系统 主泵 油扩散泵 分子泵 低温泵
真空蒸发镀膜设备性能的改进
10
《真空》北京北仪创新真空技术有限责任公司 陈素君 陈月增  出版年:2008
为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜室的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次。并尽可能留有增加可选配功能部...
关键词:真空蒸发镀膜设备  真空性能 装载量 自动控制 多功能  
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