文献类型：期刊文章

作　　者：丁雪成[1] 冯震宇[2] 吴丽颖[2] 单允章[2]

机构地区：[1]西南交通大学电气工程学院,成都610031 [2]北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京102600

出　　处：《电子测量与仪器学报》

年　　份：2008

卷　　号：22

期　　号：S2

起止页码：322-325

语　　种：中文

收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统。该电气控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能。系统经过了实验室和现场的两步调试,解决了潜在问题。最终生产实践证实了该系统的可行性,实现了工艺要求,满足了客户需求。

关 键 词：PLC 真空镀膜机 电气控制

分 类 号：TG174.4]