期刊文章详细信息
基于可靠性分析的真空镀膜机控制系统研究
A Study of Vacuum Coating Machine Control System Based on Reliability Analysis
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西南交通大学电气工程学院,成都610031 [2]北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京102600
年 份：2009
卷 号：23
期 号：4
起止页码：35-38
语 种：中文
收录情况：CAS、JST、RCCSE、普通刊
摘 要：通过对真空镀膜机的故障树分析,找出影响整个系统的薄弱环节,为控制系统可靠性设计提供参考。结合镀膜工艺流程,对控制系统软、硬件进行了论证分析和相应的设计,实现了以PLC为核心的真空镀膜机控制系统。该控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能,最终生产实践证实了该系统的可行性和可靠性,满足了工艺要求。
关 键 词：真空镀膜机 可靠性 故障树分析法 PLC
分 类 号：TB368.5[材料类]
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