期刊文章详细信息
真空蒸发镀膜设备性能的改进
Performance improvement of vacuum evoporation coater
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京102600
年 份：2008
卷 号：45
期 号：6
起止页码：40-43
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜室的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次。并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求。
关 键 词：真空蒸发镀膜设备 真空性能 装载量 自动控制 多功能
分 类 号：TB43] TB75
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