期刊文章详细信息
真空仪器设备应用与发展
The Current Development of Vacuum Technology in Vacuum Equipments and Vacuum Instruments
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京102600
年 份:2017
期 号:9
起止页码:21-23
语 种:中文
收录情况:普通刊
摘 要:真空仪器设备的在部分航天及军工领域的应用与发展。从真空技术的3个方面——真空获得、真空检测、真空应用简要介绍真空技术目前的发展状况。在真空获得方面介绍低真空泵国内外发展状况,高真空泵方面重点介绍分子泵目前的国内发展状况;真空检测方面介绍我国国产产品的发展状况,以及发展的难点及瓶颈。真空应用方面介绍几个航空航天及军工有代表性的领域应用情况。
关 键 词:真空仪器 分子泵 真空应用
分 类 号:TB75]
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