文献类型：期刊文章

作　　者：刘成[1] 安其[2] 周丽华[1] 钱子勍[1] 叶晓军[1] 陈鸣波[1]

机构地区：[1]上海空间电源研究所,上海200233 [2]北京北仪创新真空技术有限责任公司,北京102600

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：上海市博士后科研资助计划项目(08R21420200);上海市引进技术的吸收与创新计划项目(07X12-016)

年　　份：2011

卷　　号：31

期　　号：1

起止页码：124-127

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20111213784001)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000W/m2)的光电转换效率。

关 键 词：柔性衬底 屏蔽罩 微晶硅 非晶硅/微晶硅  叠层太阳电池

分 类 号：O484] TK514[物理学类]