中国科学院微电子中心 
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类 核工程类
- 电子束曝光技术发展动态
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- 《微电子学》中国科学院微电子中心制版与微细加工实验室 刘明 陈宝钦 梁俊厚 李友 徐连生 张建宏 张卫红 出版年：2000
- 关键词：电子束曝光 微细加工 抗蚀剂
- 一种利用自举效应的Charge-Recovery逻辑电路 ( EI收录)
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- 《Journal of Semiconductors》中国科学院微电子中心研究部 李晓民 仇玉林 陈潮枢 出版年：2000
- 关键词：逻辑电路 自举效应 Charge-Recovery
- 迈进二十一世纪的集成电路
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- 《世界科技研究与发展》中国科学院微电子中心 吴德馨 出版年：1999
- 关键词：超微细加工 铜互连 CMOS工艺 GaAs电路 集成电路
- 一种新的散射电子空间输运坐标转换方法
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- 《光电工程》中国科学院微电子中心微光刻实验室;山东大学电气工程学院;中国科学院微电子中心电工研究所 任黎明 陈宝钦 谭震宇 顾文琪 出版年：2002
- 关键词：电子束曝光 蒙特卡罗法 坐标转换
- 硅基发光材料和器件研究的进展
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- 《光电子技术与信息》中国科学院半导体所;中国科学院微电子中心研究部 陈维德 李秀琼 出版年：2000
- 关键词：硅基 发光材料 发光器件 光电集成
- 同步辐射X射线光刻实验研究
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- 《微细加工技术》中国科学院微电子中心BSRF联合光刻站 谢常青 叶甜春 陈梦真 出版年：1997
- 关键词：X射线光刻 X射线掩模 同步辐射 光刻 掩模
- 一个功能较强的交互式混合级逻辑模拟工具SIM ( EI收录)
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- 《计算机辅助设计与图形学学报》清华大学计算机系;中国科学院微电子中心;北京集成电路设计中心;北京大学计算机系 边计年 卢勤 吕昌 刘渝 连永君 出版年：1991
- 关键词：逻辑模拟 SIM 功能块 软件工程方法 总体设计思想 可扩充性 可维护性 功能描述 稳态值 电路模块
- 同步辐射X射线光刻计算机模拟研究 ( EI收录)
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- 《微细加工技术》中国科学院微电子中心BSRF联合光刻站 谢常青 叶甜春 陈梦真 出版年：1997
- 关键词：X射线光刻 分辨率 同步辐射 计算机模拟 光刻
- 一种低功耗模拟单元电路的设计
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- 第十一届全国半导体集成电路.中国有色金属学会硅材料学术会议 1999姜明哲 袁国顺 出版年：1999
- 关键词：低功耗 模拟单元电路 LCD显示器 阱电阻 偏压值
- 访农助农
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- 《北京支部生活》中国科学院微电子中心四室 出版年：2004
- 关键词：全面建设小康社会 现代农业 农村党支部 奋斗目标 统筹城乡 农村经济 农业政策 科技成果转化 经济生活 农民党员
