期刊文章详细信息
迈进二十一世纪的集成电路
The Integrated Circuitin The 21st Century
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院微电子中心,中国科学院院士北京100029
年 份：1999
卷 号：21
期 号：4
起止页码：1-9
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：文章讨论了进入二十一世纪微电子科学技术所面临的诸多问题：超微细加工新技术，高电导率金属和低介电常数介质的互连技术， Ｓｉ Ｃ Ｍ Ｏ Ｓ 工艺的限制以及 Ｇａ Ａｓ
关 键 词：超微细加工 铜互连 CMOS工艺 GaAs电路 集成电路
分 类 号：TN405]
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