文献类型：期刊文章

作　　者：任黎明[1] 陈宝钦[1] 谭震宇[2] 顾文琪[3]

机构地区：[1]中国科学院微电子中心微光刻实验室,北京100029 [2]山东大学电气工程学院,山东济南250061 [3]中国科学院微电子中心电工研究所,北京100080

出　　处：《光电工程》

基　　金：国家九五科技攻关项目(KT0305-G9720 97-762-03-02);国家重点基础研究项目(973计划)(G2000036504)

年　　份：2002

卷　　号：29

期　　号：3

起止页码：24-27

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程。 该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA-Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程。

关 键 词：电子束曝光 蒙特卡罗法 坐标转换  

分 类 号：TN305.7]