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中国科学院微电子中心 收藏

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研究主题:集成电路    电子束曝光    电子束    专用集成电路    微细加工    

研究学科:电子信息类    自动化类    机械类    核工程类    

被引量:51H指数:4WOS: 2 EI: 4 北大核心: 5 CSCD: 7

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