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复旦大学微电子研究院 收藏

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研究主题:集成电路    脉冲电镀    铜互连    GAN    FPGA    

研究学科:电子信息类    自动化类    电气类    核工程类    环境科学与工程类    

被引量:190H指数:7WOS: 8 EI: 10 北大核心: 45 CSCD: 42

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106 条 记 录,以下是 1-10

有效利用在线课程,实现原位翻转课堂的大学新教学
1
《中国教育信息化》复旦大学教师教学发展中心;复旦大学微电子学院 蒋玉龙  出版年:2018
基于在线课程,本文提出一个在大学教学中可行、易推广、有效果的新型混合式教学方案——原位翻转课堂,并从2014年开始在3门本科生专业必修课上进行了10次成功的教改实践。这种新教学聚焦任务驱动,提前两周将教学视频等通过网络发...
关键词:在线课程 原位翻转课堂  教学过程
先进光刻技术的发展历程与最新进展
2
《激光与光电子学进展》复旦大学微电子学院 李艳丽 刘显和 伍强  出版年:2022
复旦大学引进人才科研启动项目(JIH1233018,JIH1233020)。
光刻技术是半导体集成电路技术发展的主要推动技术,其不断提高的分辨率与图形复制精度成功地将集成电路制造线宽从40多年前的2~3μm缩小到先进的10~15 nm。在发展过程中,众多先进的技术不断涌现,如投影式光刻、相移掩模版...
关键词:光刻 光刻工艺 光刻机 光刻胶 掩模版
集成电路铜互连线脉冲电镀研究
3
《半导体技术》罗门哈斯电子材料有限公司;复旦大学微电子研究院复旦-诺发互连研究中心;上海大学化学系 曾磊 徐赛生 张立锋 张玮 张卫 汪礼康  出版年:2006
国家自然科学基金项目(60176013);上海市科委AM基金(0304)
针对先进纳米铜互连技术的要求,研究了脉冲电流密度对铜互连线电阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度等性能的影响。实验结果表明,2~4A/dm2电流密度下的铜镀层拥有较小电阻率、较小的表面粗糙度和较大的晶粒尺寸。
关键词:铜互连 脉冲电镀 电阻率 X射线衍射
脉冲时间参数对电沉积铜薄膜性能的影响
4
《中国集成电路》复旦大学微电子研究院;罗门哈斯电子材料(上海)有限公司;上海大学化学系 徐赛生 曾磊 张立锋 张炜 张卫 汪礼康  出版年:2007
国家自然科学基金项目(60176013);上海市科委AM基金(No.0304)
针对先进纳米铜互连技术的要求,研究了脉冲时间和关断时间对铜互连薄膜电阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度等性能的影响。实验结果表明,占空比较小时,镀层电阻率较大,晶粒直径较小。脉冲时间选择在毫秒数量级,占空比选择在40%~60%之...
关键词:铜互连 脉冲电镀 电阻率 晶粒尺寸 表面粗糙度
对称加密算法AES和DES的差分错误分析
5
《复旦学报(自然科学版)》复旦大学微电子研究院专用集成电路与系统国家重点实验室 孙维东 俞军 沈磊  出版年:2013
分析对称加密算法AES和DES对差分错误分析的安全性.描述了一种针对AES加密算法的差分错误分析方法,通过软件模拟成功恢复根密钥.实验结果表明,只需20次左右的错误注入就能实现AES差分错误分析.提出一种新的DES差分错...
关键词:高级加密标准 数据加密标准 差分错误分析  智能卡
面向串行总线的层次化UVM验证平台设计
6
《传感器与微系统》浙江大学电气工程学院;复旦大学微电子学院 陈琳娜 孟建熠 林志涛  出版年:2018
在现有的通用验证方法学(UVM)验证平台中,验证组件与被测器件(DUT)紧耦合,导致验证组件的可重用性较差,且UVM transaction的定义使用了Field-Automation机制,调用路径过长,增加了测试用例的...
关键词:验证组件  可重用性 公用库  串行总线 层次化建模
超大规模集成电路铜互连电镀工艺
7
《中国集成电路》罗门哈斯电子材料(上海)有限公司;复旦大学微电子研究院复旦-诺发互连研究中心 曾磊 张卫 汪礼康  出版年:2006
介绍了集成电路铜互连双嵌入式工艺和电镀铜的原理;有机添加剂在电镀铜中的重要作用及对添加剂含量的监测技术;脉冲电镀和化学电镀在铜互连技术中的应用;以及铜互连电镀工艺的发展动态。
关键词:集成电路,铜互连,电镀,阻挡层  
一种基于SRAM PUF的安全双向认证协议
8
《密码学报》上海复旦微电子集团股份有限公司;复旦大学微电子学院 刘丹 郭丽敏 俞军 王立辉 单伟君  出版年:2017
物联网时代,海量的各种设备通过网络相互连接,在带来了方便的同时,也把这些资源有限的设备暴露在攻击者的面前.为了对抗攻击,数据加密和访问控制是必不可少的防护措施,因此密钥存储和身份认证就成为关键点.物理不可克隆函数(Phy...
关键词:SRAM PUF 双向认证协议
微纳集成电路和新型混合集成技术
9
《中国科学:信息科学》复旦大学微电子学院;北京大学信息科学技术学院 曾晓洋 黎明 李志宏 陈兢 杨玉超 黄如  出版年:2016
随着摩尔定律的不断推进,集成电路产业迎来了巨大发展机遇的同时,也面临着前所未有的发展瓶颈和技术挑战.论文围绕创新的微纳集成电路和新型混合集成技术领域的基础理论和关键技术问题,聚焦在新型低功耗器件及电路理论,纳米尺度单片集...
关键词:集成电路 低功耗 微电子器件 系统芯片 混合集成  摩尔定律  
基于Matlab的“数字信号处理”课程实验设计
10
《电气电子教学学报》复旦大学微电子学院 易婷  出版年:2017
复旦大学本科教学研究课题(201244)
本文设计了一个基于Matlab的"数字信号处理"课程综合性实验。该实验把"数字信号处理"课程中的许多离散的知识点串接了起来,包括采样、量化、滤波器设计、滤波器实现、DFT/FFT和滤波器的有限字长效应等。教学实践表明该实...
关键词:数字信号处理 综合性实验  MATLAB
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