黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室 
研究主题：MEMS 左手材料 射频磁控溅射 氧传感器 硅
研究学科：电子信息类 自动化类 机械类 电气类 航空航天类
- 多项式回归在智能传感器线性化中的应用
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- 《传感技术学报》黑龙江大学集成电路重点实验室 杜西亮 孙慧明 出版年：2005
- 关键词：传感器 多项式回归 线性化 标定
- 光栅分振幅光偏振测量系统的研制 ( EI收录)
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- 《光电工程》哈尔滨工业大学自动化测试与控制系;黑龙江大学集成电路重点实验室 杜西亮 戴景民 出版年：2006
- 关键词：振幅分割 光偏振仪 Stokes参数 金属光栅
- 溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征 ( EI收录)
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- 《材料工程》哈尔滨工程大学材料科学与工程系;黑龙江大学集成电路重点实验室;北京理工大学材料科学与工程学院 刘红梅 张德庆 林海波 张亮 刘海涛 邱成军 曹茂盛 出版年：2006
- 关键词：溶胶-凝胶 乙二醇 锆钛酸铅 纳米粉体
- NTC热敏电阻器分段多项式拟合非线性补偿
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- 《传感器技术》黑龙江大学集成电路重点实验室;中国电子科技集团公司第四十九研究所 杜西亮 孙慧明 聂义祥 出版年：2005
- 关键词：热敏电阻器 分段多项式 非线性补偿
- 基于直流磁控溅射室温制备ZnO薄膜研究 ( EI收录)
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- 《人工晶体学报》黑龙江大学黑龙江省普通高等学校电子工程重点实验室;黑龙江大学集成电路重点实验室 赵晓锋 温殿忠 高来勖 出版年：2008
- 关键词：直流磁控溅射 ZNO薄膜 晶粒 晶粒间界
- 磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究 ( EI收录)
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- 《材料工程》黑龙江大学集成电路重点实验室;北京理工大学材料科学与工程学院 邱成军 曹茂盛 张辉军 刘红梅 田风军 刘鑫 出版年：2005
- 关键词：薄膜 锐钛矿相 射频磁控溅射 光催化活性
- 定向井轨迹的磁控测量系统
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- 《传感技术学报》黑龙江大学集成电路重点实验室 邱成军 卜丹 出版年：2004
- 关键词：磁控 单片机 井轨迹
- MEMS结构氧传感器的研究
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- 《传感技术学报》黑龙江大学集成电路重点实验室 邱成军 刘鑫 曲伟 张辉军 出版年：2005
- 关键词：MEMS 氧传感器 磁控溅射
- 基于PECVD制备多晶硅薄膜研究 ( EI收录)
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- 《人工晶体学报》黑龙江大学电子工程黑龙江省高校重点实验室;黑龙江大学集成电路重点实验室 赵晓锋 温殿忠 出版年：2006
- 关键词：PECVD 多晶硅薄膜 晶粒 退火
- 硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究
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- 《黑龙江大学自然科学学报》黑龙江大学集成电路重点实验室 万灵 温殿忠 白续铎 唐祺 肖艳玲 出版年：2005
- 关键词：硅基 聚酰亚胺 湿度传感器 IC工艺
