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黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室 收藏

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研究主题：MEMS    左手材料    射频磁控溅射    氧传感器    硅    

研究学科：电子信息类    自动化类    机械类    电气类    航空航天类    

被引量：141H指数：7WOS: 5 EI: 19 北大核心: 38 CSCD: 33

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