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MEMS结构氧传感器的研究
Study of Oxygen Sensor with MEMS Structure
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]黑龙江大学集成电路重点实验室,哈尔滨150080
基 金：教育部资助项目(204047)
年 份：2005
卷 号：18
期 号：3
起止页码：531-533
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱,讨论了二氧化钛的氧敏机理。研究表明与传统的气体传感器相比,此种传感器具有体积小、低功耗、可集成的特点。
关 键 词：MEMS 氧传感器 磁控溅射
分 类 号：TP212] TN405]
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